期刊全称
Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
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Print ISSN
2166-2746
出版社
AVS Science and Technology Society
Scopus链接
https://www.scopus.com/sourceid/21100329308
开放出版
Open Access
否
出版类型
期刊 - Journal
SNIP
0.662
SJR
0.429
Q3
Q2
31 / 59
316 / 693
130 / 246
126 / 292
57 / 123
56 / 128